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| ====== エッチング装置 ===== | ====== エッチング装置 ====== |
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| ^ メーカー名 ^ シリーズ名 ^ 型式 ^ ◆項目① ^ ◆項目② ^ ◆項目③ ^ ◆項目④ ^ ◆項目⑤ ^ | ^ メーカー名 ^ シリーズ名 ^ 型式 ^ ◆項目① ^ ◆項目② ^ ◆項目③ ^ ◆項目④ ^ ◆項目⑤ ^ |
| | ▲社 | ▲1シリーズ | ▲1-1| ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | | |[[https://www.shinko-seiki.com/|神港精機株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | ▲社 | ▲1シリーズ | ▲1-2| ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | | |[[https://www.spp-technologies.co.jp/|SPPテクノロジーズ株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | | | | | | | | | | |[[https://jsw-afty.co.jp/cs/|JSWアフティ株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | | | | | | | | | | |[[https://www.shibaura.co.jp/eletec/index.html|芝浦エレテック株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | | | | | | | | | | |[[https://agus.co.jp/|株式会社菅製作所]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/index.html|株式会社日立ハイテク]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.ips.co.kr/jp/|WONIKIPSCo.,Ltd.]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.lamresearch.com/ja/|LAMRESEARCHCORPORATION]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.showashinku.co.jp/|株式会社昭和真空]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[http://www.pascal-co-ltd.co.jp/index.html#|株式会社パスカル]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.screen.co.jp/ft/|株式会社SCREENファインテックソリューションズ]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[http://www.mikasa-inc.jp/index.html|ミカサ株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[http://www.amaya-cvd.co.jp/index.html|株式会社天谷製作所]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://japancreate.co.jp/|ジャパンクリエイト株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.shinmaywa.co.jp/index.html|新明和工業株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[http://www.c-vtechnix.com/|株式会社C&Vテクニクス]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.ulvac.co.jp/|株式会社アルバック]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.dalton.co.jp/|株式会社ダルトン]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.sanvac.com/index.html|株式会社サンバック]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.osakavacuum.co.jp/|株式会社大阪真空機器製作所]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.panasonic.com/jp/home.html|パナソニック株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.matsubo.co.jp/|株式会社マツボー]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[http://pekuris.co.jp/|株式会社栗田製作所]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.samco.co.jp/|サムコ株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[http://www.appliedmaterials.com/content/applied-materials/jp/ja|AppliedMaterials,Inc.]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.spp.co.jp/|住友精密工業株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://hitsjpn.com/about.html|有限会社ハイテクノサービス]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
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