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| ====== スパッタリング装置 ===== | ====== スパッタリング装置 ====== |
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| ^ メーカー名 ^ シリーズ名 ^ 型式 ^ ◆項目① ^ ◆項目② ^ ◆項目③ ^ ◆項目④ ^ ◆項目⑤ ^ | ^ メーカー名 ^ シリーズ名 ^ 型式 ^ ◆項目① ^ ◆項目② ^ ◆項目③ ^ ◆項目④ ^ ◆項目⑤ ^ |
| | ▲社 | ▲1シリーズ | ▲1-1| ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | | |[[https://www.panasonic.com/jp/company/ppe.html|パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | ▲社 | ▲1シリーズ | ▲1-2| ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | | |[[https://www.ulvac.co.jp/|株式会社アルバック]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | | | | | | | | | | |[[https://www.sanvac.com/index.html|株式会社サンバック]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | | | | | | | | | | |[[https://japancreate.co.jp/|ジャパンクリエイト株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | | | | | | | | | | |[[https://www.shincron.co.jp/company/|株式会社シンクロン]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.toyokokagaku.co.jp/|東横化学株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[http://www.pascal-co-ltd.co.jp/index.html#|株式会社パスカル]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.shinkuu.co.jp/|株式会社真空デバイス]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.shibaura.co.jp/index.html|芝浦メカトロニクス株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.brookssoftware.jp/|アプライドマテリアルズジャパン株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://agus.co.jp/|株式会社菅製作所]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://anelva.canon/|キヤノンアネルバ株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://thermocera.com/|テルモセラ・ジャパン株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
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