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| ====== レジスト塗布装置 ===== | ====== レジスト塗布装置 ====== |
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| ^ メーカー名 ^ シリーズ名 ^ 型式 ^ ◆項目① ^ ◆項目② ^ ◆項目③ ^ ◆項目④ ^ ◆項目⑤ ^ | ^ メーカー名 ^ シリーズ名 ^ 型式 ^ ◆項目① ^ ◆項目② ^ ◆項目③ ^ ◆項目④ ^ ◆項目⑤ ^ |
| | ▲社 | ▲1シリーズ | ▲1-1| ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | | |[[http://www.e2-square.co.jp/|株式会社イー・スクエア]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | ▲社 | ▲1シリーズ | ▲1-2| ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | | |[[https://www.hisol.jp/category/products/plo|ハイソル株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | | | | | | | | | | |[[http://www.sunat.jp/|株式会社SAT]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | | | | | | | | | | |[[http://www.mtcinfo.co.jp/index.htm|株式会社エムテーシー]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | | | | | | | | | | |[[http://www.why-co.jp/index.html|株式会社ファイコーポレーション]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[http://www.tecnoace.jp/|株式会社エース設備]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://onec.co.jp/|オーエヌ総合電機株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.ltj.co.jp/|リソテックジャパン株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.daitron.co.jp/|ダイトロン株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[http://aiden.com/|株式会社アイデン]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.wafer-measurement-inspection.com/|株式会社ジャステム]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.toray-eng.co.jp/index.html|東レエンジニアリング株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://premium.ipros.jp/EHC/|株式会社イーエッチシー]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[http://www.asap-semi.co.jp/|株式会社エイ・エス・エイ・ピイ]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[http://www.mikasa-inc.jp/index.html|ミカサ株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.sdicompany.com/|株式会社SDI]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
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