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| ====== アッシング装置 ===== | ====== アッシング装置 ====== |
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| ^ メーカー名 ^ シリーズ名 ^ 型式 ^ ◆項目① ^ ◆項目② ^ ◆項目③ ^ ◆項目④ ^ ◆項目⑤ ^ | ^ メーカー名 ^ シリーズ名 ^ 型式 ^ ◆項目① ^ ◆項目② ^ ◆項目③ ^ ◆項目④ ^ ◆項目⑤ ^ |
| | ▲社 | ▲1シリーズ | ▲1-1| ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | | |[[https://www.appex.co.jp/|アペックス株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | ▲社 | ▲1シリーズ | ▲1-2| ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | | |[[https://www.samco.co.jp/|サムコ株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | | | | | | | | | | |[[https://www.yamato-net.co.jp/|ヤマト科学株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | | | | | | | | | | |[[https://www.daitron.co.jp/|ダイトロン株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | | | | | | | | | | |[[https://www.shinko-seiki.com/|神港精機株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.yamato-material.co.jp/|ヤマトマテリアル株式会社]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[https://www.ulvac.co.jp/|株式会社アルバック]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
| | |[[http://www.plasmec.co.jp/index.html|株式会社モリエンジニアリング]] | ▲1シリーズ | ▲1-1 | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | ▲ | |
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